Emerging lithographic technologies X - 21-23 February 2006, San Jose, California, USA
- Författare
- (Michael J. Lercel)
- Genre
- Konferenspublikation
- Språk
- Engelska
| Förlag | År | Ort | Om boken | ISBN |
|---|---|---|---|---|
| Cop. 2006 | USA | 2 vol. | 0-8194-6194-6 |